高溫?zé)o塵無氧烘箱，晶圓無氧烤箱?概述

高溫?zé)o塵無氧烘箱，晶圓無氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

技術(shù)指標

Ø  潔凈度：class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

Ø  升溫時間：5-8℃/min，（空箱測試）

Ø  降溫時間：可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）

Ø  氧含量

(配氧含量分析儀)高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量

低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

Ø  數(shù)據(jù)輸出：溫度和氧含量無紙記錄儀

?安全保護性能

Ø  報警功能： 1）三色燈  2） 超溫報警    3）熱電偶故障報警   4）低水壓報警

Ø  安保功能：1）短路保護

2）漏電保護

3）超溫保護，獨立感溫式超溫保護器

4）電機保護，電機過電流、水冷保護

5）電磁門禁保護，當溫度超過100℃，電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門

設(shè)備環(huán)境安裝條件

Ø  環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；

Ø  周圍無強烈震動；   

Ø  無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，

Ø  周圍無強烈電磁場影響；

Ø  周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；

Ø  百級潔凈車間；

Ø  周圍無強烈氣流，當周圍空氣需要強制流動時，氣流不應(yīng)在直接吹到箱體上；

Ø  設(shè)備應(yīng)放在堅固平穩(wěn)的平面上，并使其保持水平狀態(tài)；

Ø  安裝設(shè)備使用空開電源 ；