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      產(chǎn)品中心您的位置：網(wǎng)站首頁  > 產(chǎn)品中心  > 半導(dǎo)體烘烤設(shè)備  > 無氧烘箱  > JS智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱
            
              
      
      
      
        
      
          
      
    
      	 
    
      
    
    
      智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱
      
   
      
   
      智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱
            
	 
      
	 
      簡要描述：
      
	    
      智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱  電子膠體固化：銀膠/BCB膠/光刻膠高溫固化（300-450℃）

      晶圓加工：退火處理、PI膜烘烤（&#177;1℃波動精度）

      陶瓷燒結(jié)：電子陶瓷材料無塵烘干（Class100潔凈環(huán)境）
      
	 
      
   
         
  
      

       

      
		
	   
		   
      
			
      	
			 
      智能型無塵無氧烘箱  氮氣無氧烤箱  PI固化爐
      一、智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱核心功能定位
      1.1 工藝適配場景
      ? ?精密熱處理?
      • 電子膠體固化：銀膠/BCB膠/光刻膠高溫固化（300-450℃）
      • 晶圓加工：退火處理、PI膜烘烤（±1℃波動精度）
      • 陶瓷燒結(jié)：電子陶瓷材料無塵烘干（Class100潔凈環(huán)境）
      ? ?行業(yè)覆蓋矩陣?
      核心行業(yè)典型應(yīng)用產(chǎn)品工藝優(yōu)勢
      半導(dǎo)體制造晶圓、觸摸屏ITO玻璃氧含量≤20ppm防氧化
      顯示面板LED封裝、OLED基板溫度均勻度≤±1.5%℃
      新能源光伏電池板、PCB板15℃/min急速升溫（定制版）
      二、技術(shù)參數(shù)體系
      2.1 核心配置參數(shù)
      參數(shù)類別技術(shù)指標(biāo)可定制選項
      ?箱體結(jié)構(gòu)?內(nèi)箱SUS304不銹鋼/外箱冷軋板噴塑全不銹鋼/防爆涂層
      ?工作室尺寸?標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格：300×500×700mm非標(biāo)尺寸定制
      ?溫控系統(tǒng)?RT+50~450℃ | 分辨率0.1℃ | 波動≤±1℃600℃高溫擴(kuò)展
      2.2 環(huán)境控制系統(tǒng)
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      ? 潔凈度：Class100（ISO 5級）     └ 可選配Class1000（ISO 6級）   ? 氧含量控制：≤10ppm（N?置換系統(tǒng)）     └ 配備在線氧分析儀   ? 熱交換系統(tǒng)：線性降溫4℃/min（80℃以下）  
      2.3 智能操作模塊
      • ?控制系統(tǒng)?
        ：工業(yè)級PLC+HMI觸摸屏
      • ?程序編排?
        ：支持30組999段程式設(shè)定
      • ?數(shù)據(jù)追溯?
        ：六點溫度記錄儀（符合FDA 21 CFR Part 11）
      三、設(shè)備型號對照表
      設(shè)備型號工作室容積適用生產(chǎn)場景
      JS-GYM040-AI0.043m3實驗室研發(fā)/小批量試制
      JS-GYM090-AI0.091m3中型元器件連續(xù)生產(chǎn)
      JS-GYM125-AI0.125m3光伏電池板熱處理
      JS-GYM210-AI0.210m3晶圓廠量產(chǎn)型工作站
      四、智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱技術(shù)亮點說明

      ?三位一體精準(zhǔn)控制?
      1. ?溫度維度?
        ：PID算法+SSR控制，達(dá)成±0.1%超調(diào)抑制
      2. ?潔凈維度?
        ：HEPA+ULPA雙級過濾系統(tǒng)，顆粒物截留率≥99.995%
      3. ?氧控維度?
        ：氮氣或真空置換+氣體循環(huán)復(fù)合系統(tǒng)，殘氧量達(dá)軍工標(biāo)準(zhǔn)

      
			 
      

		     
      
		  
		
      
		   
      
           
      	
                
	  
      

       

	 
      
         
      
        
      
      
      
    
      
  
      

      

      

      
  
      
    
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