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高溫低濕烘箱 超低濕高溫烤箱在晶圓封裝前需在150~180℃、濕度≤5%RH的環(huán)境中進(jìn)行去濕處理，防止金屬鍵合層氧化失效?

圖像翻轉(zhuǎn)烘箱，光刻圖形反轉(zhuǎn)設(shè)備主要用于剝離過程，特別是在柔性電極、電極的制作以及其他一些MEMS器件工藝中。通過底切側(cè)壁形態(tài)，可以防止沉積的材料在光刻膠邊緣和側(cè)壁上形成連續(xù)薄膜，有助于獲得干凈的剝離光刻膠結(jié)構(gòu)。

真空熱風(fēng)烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱工作原理，循環(huán)階段:風(fēng)機(jī)產(chǎn)生強(qiáng)大的氣流,將熱風(fēng)循環(huán)均勻地分布到烘箱內(nèi)部,使熱風(fēng)與物品表面充分接觸,加快熱傳導(dǎo) 排濕階段:在烘箱內(nèi),物品的表面水分被熱風(fēng)蒸發(fā),濕氣通過排濕口排出烘箱。

箱式電阻爐，高溫馬弗爐為周期作業(yè)式電爐，可供工礦企業(yè)、科研等單位實驗室作化學(xué)分析、物理測定和一般小型鋼件熱處理時加熱之用。

馬弗爐，高溫電阻爐是分析實驗室樣品干法前處理，冶金實驗室做熔融實驗，熱處理部門做退火、淬火等實驗，以及其他需要高溫的場合不可少的加熱輔助設(shè)備

高溫真空無氧烤箱JS-GYZF040,雋思無氧烘箱用于PI/BCB/LCP/PBO光刻膠固化、厭氧烘烤、MEMS生產(chǎn)、高溫退火等工藝，適用于半導(dǎo)體、電子、新材料等研發(fā)，生產(chǎn)。常用于科研單位，高校實驗室，工廠生產(chǎn)線等場所。

BCB無氧烘箱，BCB固化烤箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。