PI真空烘箱,真空無氧PI烤箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
鼓風式真空烘箱,真空鼓風干燥箱用于半導體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、PBO膠固化,LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。
氮氣真空熱風烘箱,高溫熱風真空烤箱可達低氧濃度,厭氧烘烤、低真空熱處理烘烤。用于半導體、新材料、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場所。適用于BCB固化、PI聚酰亞胺固化、LCP纖維熱處理、光刻膠固化。